三次元检测设备主要指通过三维点进行测量的仪器。市面上也有三维仪器，比如三维坐标测量机，三维坐标测量机，三维一。三次元检测设备广泛应用于汽车、电子、五金、塑胶、模具等行业中，可以对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，从而完成零件检测、外形测量、过程控制等任务。
三次元检测设备主要原理是:通过将被测物体放置在三维测量空间中，可以得到被测物体上各测量点的坐标位置。根据这些点的空间坐标值，可以计算出被测物体的几何尺寸、形状和位置。其基本原理是通过检测传感器(探头)的配合和测量空间的轴向移动，获得被测几何要素的离散空间点位置，然后通过一定的数学计算完成对被测点(点群)的分析和拟合，最后还原出被测几何要素，并在此基础上计算出它们与理论值(标称值)的偏差，从而完成对被测零件的检验。
大部分三次元检测设备结构使用精密花岗岩作为平台，较好的三次元检测设备结构会使用00级或以上的花岗岩。轴的材质大部分是花岗岩，部分型号会使用铝合金或铸铁，更高配的型号会使用碳纤维、陶瓷或其他复合材料。常见的外部结构有龙门式(或移动桥式)，其他常见的有单侧桥式(或L桥式)、双侧桥式、悬臂式等。
