一般来说，
三次元测量仪是受到温度的影响的，这个温度一般指的是两个方面，一是测量室的环境温度，另一个是三次元测量仪的工作温度与被测部件的温度。
在产品几何规划（GPS）中几何产品规格和测试的标准参考温度”定义为20°C。因此，应用于图纸上零件的所有尺寸和公差应在20°C下测量。
1.三次元测量仪的正常工作温度应为20℃±2℃。由于在此温度条件下对三次元测量仪进行组装和调试，并且还要根据20℃对测量仪的光栅尺进行校正，所以当温度偏差较大时，会对零件的测量精度产生很大的影响。因此，测量仪应在工作前进行预热。使用测量仪时，必须尽力保持测量仪的影响力。
2.还必须注意室内空调的安装。由于空调的出风口温度与室内温度不一致，因此不应将空调空气直接吹到测量仪上。合理的方法是让空调器的风吹到房间的主要位置，并且使风向向上形成一个循环，并尽量将测量室的温度保持在20℃。
3.机房的结构也会影响室温。如果测量设备室有窗户，则应使用双层玻璃以避免阳光直射。阳光不能直接照射到测量仪上，否则会导致测量仪局部温度变化并影响测量精度。
4.在对机械零件进行精确测量时，工件的恒定温度也非常重要。在实际的加工环境中，工件的热膨胀和收缩非常复杂，并且受诸如加工材料，加工方法和工具材料等各种因素的影响。如果零件的温度恒定或老化时间不足，则工件的外部温度和内部温度可能不一致，这将给测量带来误差。因此，零件的恒温测量也非常重要。
尽管现在大多数测量仪都具有温度补偿功能，以补偿由于测量仪和部件温度偏离20°C而引起的长度误差，但我们仍然需要注意温度变化对测量精度的影响。日常测量工作，并尽量减少这种影响因素。
